金像測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作密測(cè)量。別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線(xiàn)寬以及其它密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線(xiàn)及科學(xué)研究等部門(mén)。那么使用金像測(cè)量顯微鏡有哪些方法呢？
1.使用金像測(cè)量顯微鏡
影像法是利用顯微鏡中間的十字線(xiàn)標(biāo)記，對(duì)影像進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位的測(cè)量方法。測(cè)量時(shí)，通過(guò)十字線(xiàn)標(biāo)記瞄準(zhǔn)測(cè)量物體的影像邊緣，并在讀數(shù)顯鏡上讀出數(shù)值，然后移動(dòng)工作臺(tái)以同條刻線(xiàn)瞄準(zhǔn)測(cè)量物體的另邊，再作二次讀數(shù)。兩次讀數(shù)的差，是被測(cè)量物體的測(cè)量值。
2.使用顯微鏡的軸切法
軸切法是利用中央顯微鏡的標(biāo)記對(duì)通過(guò)測(cè)件軸心線(xiàn)并利用測(cè)量刀上的刻線(xiàn)進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)方法。其表面有刻線(xiàn)，刻線(xiàn)刃口的尺寸為0.3和0.9毫米兩種，測(cè)量時(shí)，把測(cè)量刀放在測(cè)量刀墊板上，刻線(xiàn)面通過(guò)測(cè)件的軸線(xiàn)，并使測(cè)刀的刃口和被測(cè)面緊緊接觸，用相應(yīng)的米字線(xiàn)去瞄準(zhǔn)，測(cè)量?jī)砂褱y(cè)刀刻線(xiàn)間的距離，間接測(cè)得被測(cè)件的測(cè)量值。為了避免測(cè)量中的計(jì)算，在中間垂直米字線(xiàn)的兩側(cè)刻有兩組共四條對(duì)稱(chēng)分布的平行線(xiàn)，每組刻線(xiàn)對(duì)刻線(xiàn)的距離分別為0.9和2.7毫米，它正是測(cè)刀的刃口到刻線(xiàn)間的距離0.3和0.9毫米的3倍。這樣用3倍物鏡瞄準(zhǔn)時(shí)，分劃板上的0.9和2.7毫米刻線(xiàn)正壓住測(cè)刀上的0.3和0.9毫米刻線(xiàn)，這時(shí)測(cè)刀上的刃口正被米字線(xiàn)的中間刻線(xiàn)所瞄準(zhǔn)。
3.使用金像測(cè)量顯微鏡顯微鏡接觸法
接觸法是利用顯微鏡的標(biāo)記對(duì)和緊靠測(cè)件測(cè)量點(diǎn)、線(xiàn)、面。測(cè)量時(shí)將光學(xué)測(cè)孔器的測(cè)頭緊靠件（內(nèi)、外）表面。當(dāng)測(cè)量孔徑時(shí)，先使測(cè)頭與測(cè)件內(nèi)孔接觸，取得大弦長(zhǎng)后，使米字線(xiàn)中間刻線(xiàn)被光學(xué)測(cè)孔器的雙套線(xiàn)套在中間，并在讀數(shù)顯微鏡讀取數(shù);然后改變測(cè)量方向，使測(cè)頭在另側(cè)與測(cè)件接觸，同樣使米字線(xiàn)分劃板的中間刻線(xiàn)仍被光學(xué)測(cè)孔器的雙套線(xiàn)套在中間，在讀數(shù)顯微鏡上讀取另數(shù)。兩次讀數(shù)的差，再加上測(cè)頭直徑的實(shí)際值，即為測(cè)件的內(nèi)尺寸，如減去測(cè)頭直徑的實(shí)際值，即為測(cè)件的外尺寸。